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光束整形模块
产品介绍

在激光微纳加工过程中,由于工艺要求的多样性,对激光强度分布以及光斑形状的控制有着各种各样的要求,本产品通过可编程衍射元器件结合先进的软件算法,结合动态反馈调节技术,可对灵活精确调整光束的形状、能量分布等,满足各种激光加工要求,如高斯光束整形(圆形平顶、方形平顶等),球差补偿,贝塞尔轴向能量调控,艾里光束能量调控等。


产品特点
模块通过可编程衍射器件以及高级计算全息图算法,结合先进的软件算法,可以灵活改变光束整形、形状、能量分布等参数。显著提高加工速度。
相关知识产权如下:201710025672.1
系统参数

尺寸:根据机台光路定制

适用波长范围:IR:1000-1100nm/GRN:460-560nm

相元大小:12.5um;

利用率97%

液晶填充系数:96%;

设备案例:


 光束整形模块-不同整形光斑图-水印.jpg

不同整形光斑图


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